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JP2009099719A - 減圧乾燥装置 - Google Patents
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【課題】簡単な構成でありながら、支持ピンを迅速に冷却して、基板を均一に処理することが可能な減圧乾燥装置を提供すること。 【解決手段】チャンバー10における ...
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